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Scrubber尾气处理系统

2019-12-10 12:01:59 0

Local Scrubber废气处理特性

半导体工艺中常使用的化学物质及其副产物,一般依照其化学特性与其不同的影响范围,可分为:
1.易燃性气体如SiH4、H2等
2.毒性气体如AsH3、PH3等
3.腐蚀性气体如HF、HCl等
4.温室效应气体如CF4、NF3等

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半导体工艺废气处理方式
依据废气处理的特性,在处理可分为四种处理方式:
1、水洗式(处理腐蚀性气体)
2、氧化式(处理燃烧性,毒性气体
3、吸附式(干式)(依照吸附材种类处理对应之废气)
4、等离子燃烧式(各类型废气皆可处理)

scrubberweiqichulizhuangzhikechuliqitizhongleibaokuobandaoti、yejingyijitaiyangnengdengxingyezhongshikezhichengyuhuaxueqixiangchenjizhichengzhongshiyongdeteqi,zhuyaobaokuosih4、sih2cl2、ph3、b2h6、teos、h2、co、nf3、sf6、c2f6、wf6、nh3、n2odeng。



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